坩埚组件和晶体生长装置.pdfVIP

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  • 2023-06-15 发布于四川
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本实用新型公开了一种坩埚组件和晶体生长装置,坩埚组件包括:石英坩埚具有用于盛放原料的容纳腔;石墨坩埚设于石英坩埚外,且石墨坩埚的底壁与石英坩埚的底壁间隔设置以形成间隔空间;承载组件设于间隔空间内,承载组件包括承载台,承载台设于石英坩埚的下侧,承载台适于在石英坩埚变形时承载石英坩埚且朝向石墨坩埚的内侧壁移动;支撑件承载石英坩埚,且沿承载组件的周向设置,支撑件中设有移动件,移动件的一端与承载台相抵,当石英坩埚变形时,移动件适于在承载台移动的推力作用下支撑石英坩埚以使石英坩埚向容纳腔方向形成凸起。根据

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219174670 U (45)授权公告日 2023.06.13 (21)申请号 202223356112.X (22)申请日 2022.12.13 (73)专利权人 中环领先(徐州

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