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提供一种真空泵，通过防止旋转体的过热而能够防止旋转体的破损，并且能够将大量的气体连续地排气。从供给口（7）供给癸烷（C10H22）。该癸烷经由供给管（5）和连通路（3）从喷嘴（1）朝向旋转翼（102d）进行喷雾。以在旋转翼（102d）的表面容易气化的方式雾状地喷射。癸烷在大气压下的沸点是174℃，所以在常温常压下是液体。另一方面，在涡轮分子泵（10）的内部，压力为100Pa左右的几乎真空状态，癸烷在该压力时的沸点为14℃。若考虑旋转翼（102）的温度上升，则推测癸烷在泵内部为气体。因此，在喷射之
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113195899 A
(43)申请公布日 2021.07.30
(21)申请号 201980086192.3 (74)专利代理机构 中国专利代理(香港)有限公
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