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一种用于测量基材(10)的目标区域的表面轮廓的设备(20)，所述设备(20)具有光源(22)以发射测量光束。分束元件(74)限定测量轴(OM)和参照轴(OR)。基材固定器(76)沿着测量轴设置目标区域，且使所述目标区域绕着与测量轴正交相交的倾斜轴(T)按照预定的倾斜角度(Tθ)偏离于垂直入射，所述预定的倾斜角度(Tθ)随测量光束波长而变化。成像传感器(40)记录由测量光束和参照光束产生的条纹图案。计算机从记录的条纹图案中提取多个频率分布，每一个分布是在正交于倾斜轴方向的方向上取得的，其中，经过编
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 107850555 A
(43)申请公布日
2018.03.27
(21)申请号 20168
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