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本发明公开了一种大幅降低大尺寸砂浆线成本的砂浆循环工艺，其工艺方法包括以下步骤：S1、首先启动AP17#隔膜泵从废砂浆缓冲罐内抽取一定量的废砂浆至T1#废砂浆调和罐，开启AP11#离心泵抽取S2#水箱内的压滤液，将调和后废砂浆通过AP3#隔膜泵抽取至T2#一次调和罐内，开启LXJ1离心机，开启AP12离心泵，从S2#水箱内抽取切割液至T3罐内，打开AP1蠕动泵进，打开YM7蒸汽调节阀，开始进行一次离心作业，分离后的碳化硅流转至T3#一级分离配浆罐，液通过管道落差自流到S1#水箱，通过离心机下方取
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113183339 A
(43)申请公布日 2021.07.30
(21)申请号 202110373690.5
(22)申请日 2021.04.07
(71)申请人 中环领先半导体材料有限公司
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