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- 2023-06-15 发布于四川
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本发明揭示用于提供弱图案(或热点)检测及鉴定的方法及系统。弱图案检测及鉴定系统可包含经配置以检验晶片及检测存在于所述晶片上的缺陷的晶片检验工具。所述系统还可包含与所述晶片检验工具通信的至少一个处理器。所述至少一个处理器可经配置以：基于所述晶片的设计对所述所检测缺陷执行图案分组；基于所述图案分组识别所关注区域；识别含于所述经识别所关注区域中的弱图案，所述弱图案是偏离所述设计达大于阈值的量的图案；验证所述经识别弱图案；及报告所述经验证弱图案或基于所述经验证弱图案促成所述晶片的所述设计的修正。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 109075096 A
(43)申请公布日
2018.12.21
(21)申请号 20178
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