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用于晶圆高度探测信号的分析和评估方法.pdfVIP

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  • 2023-06-15 发布于四川
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用于晶圆高度探测信号的分析和评估方法.pdf

    本发明提供了一种用于晶圆高度探测信号的分析和评估方法，包括：采用小波变换的方法，利用多分辨率的特点，对所述高度探测信号进行小波分解，同时获得所述高度探测信号的频域特性和时域特性。采用小波变换的数学方法同时获得高度探测信号的时域和频域特性，解决探测信号属于非平稳型号的问题。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113177534 A (43)申请公布日 2021.07.27 (21)申请号 202110600845.4 (22)申请日 2021.05.31 (71)申请人 中国科学院微电子研究所

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