氢气传感器及其制备方法和氢气检测方法.pdfVIP

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2023-06-15 发布于四川
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氢气传感器及其制备方法和氢气检测方法.pdf

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本发明涉及一种氢气传感器及其制备方法和氢气检测方法。上述氢气传感器包括：衬底、设置在衬底上的氢敏薄膜和设置在氢敏薄膜远离衬底一侧的气体选择薄膜，气体选择薄膜覆盖氢敏薄膜，气体选择薄膜包括聚甲基丙烯酸甲酯膜。上述氢气传感器在氢敏薄膜表面设置一层气体选择薄膜作为保护层，对氢气具有高选择性，能够阻断空气中其他气体如O2、CO和NO2通过，避免氢敏薄膜的氢吸附反应会被空气中的其他气体所减缓，提高氢敏薄膜的响应速度。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113155906 B (45)授权公告日 2023.03.28 (21)申请号 202110245318.6 (22)申请日 2021.03.05 (65)同一申请的已公布的文献号