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2023-06-15 发布于四川
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一种镀膜机，其特征在于：包括真空室、基片架、镀前清洗机、AF前清洗机，所述真空室内设置有旋转平台，所述真空室绕圆周均匀设置有真空镀膜腔，所述真空室为高1.8m、直径3m的圆心结构，使得真空室体积处于6‑18m3之间。所述真空室为圆形立柱，内部下端安装有360旋转轨道，所述轨道上设置有旋转轴承，所述旋转轴承下方设置有轴承电机，所述轴承电机与所述旋转轴承控制连接，所述真空室上端设置有传输轨道，所述传输轨道根据设备镀膜腔数量对应分为若干链接点，所述链接点上均设置有光电感应器，本发明为一种高适应性、高效

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113151799 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 202110557721.2 (22)申请日 2021.05.21 (71)申请人安徽亦高光电科技有限责任公司