一种晶圆低可靠性失效管芯的标注方法和装置.pdfVIP

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2023-06-15 发布于四川
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一种晶圆低可靠性失效管芯的标注方法和装置.pdf

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本发明实施例提供了一种低可靠性失效管芯的标注方法和装置，该方法包括：根据第一晶圆图获取若干第一管芯；第一管芯通过预先进行的第一低可靠性失效标注被认定为低可靠性失效，第一低可靠性失效标注基于晶圆功能测试的结果进行；对若干第一管芯进行可靠性测试，获得可靠性测试结果；根据可靠性测试结果和所述晶圆功能测试的结果，确定第二低可靠性失效标注依据的第一数值边界。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113148946 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 202110406245.4 (22)申请日 2021.04.15 (71)申请人筏渡（上海）科技有限公司