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本发明提供了一种硅片表面亲疏水性判定装置及方法，属于硅片测试领域，具体包括硅片承载件，用于放置硅片；多组喷淋水管，位于所述硅片转轮的上方，设置在所述硅片的两侧，用于清洗所述硅片；收集组件，用于在喷淋结束后收集所述硅片滴落的液体；亲疏水性判定组件，用于根据收集的液体判断硅片的亲疏水性。通过本申请的处理方案，可以快速判别硅片表面的亲疏水性状况。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113155677 A
(43)申请公布日 2021.07.23
(21)申请号 202110413778.5
(22)申请日 2021.04.16
(71)申请人 上海新昇半导体科技有限公司
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