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本发明公开了一种电子探测器的能谱定标方法，基于定标设备实现，所述定标设备包括：经过标校的电子加速器、真空靶室、地检设备和显示终端，所述电子探测器放置在真空靶室的转台上，电子加速器用于向真空靶室发射电子束流；所述方法包括：对电子探测器的能量响应曲线、能量分辨率和线性度进行定标；对电子探测器的能档范围和精度进行定标。本发明的方法通过加速器束流定标结果拟合得到仪器能量线性响应公式，根据能量线性响应公式可以外推仪器任意测量采样值对应的沉积能量值，以及全能峰道址展宽对应的能量展宽值。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113156489 A
(43)申请公布日 2021.07.23
(21)申请号 202110460170.8
(22)申请日 2021.04.27
(71)申请人 中国人民解放军63921部队
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