复合精细遮罩.pdfVIP

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2023-06-16 发布于四川
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复合精细遮罩.pdf

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本发明提供了一种复合精细遮罩，其包括复合材料薄片以及框架结构。复合材料薄片包括聚合物层、设置在聚合物层的第一表面的第一金属层以及设置在聚合物层的第二表面的第二金属层，其中第二表面相反于第一表面。复合材料薄片具有第一区和第二区，第一区环绕第二区，且复合材料薄片的第二区包括复数个图案化孔洞。框架结构焊接于复合材料薄片的第一区，其中框架结构包括一框架以及设置在框架与第二金属层之间的应力调整层。应力调整层包括第三金属层。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113258021 A (43)申请公布日 2021.08.13 (21)申请号 20201