螺旋式真空泵.pdfVIP

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2023-06-16 发布于四川
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螺旋式真空泵.pdf

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本申请发明提供一种不需要冷却装置，不产生冷凝水，真空度较高的螺旋式真空泵。本申请发明的螺旋式真空泵（1）为，若电动马达（4）驱动而驱动轴（20）被旋转，则第二驱动螺旋部件（17）和与其连结的第三驱动螺旋部件（28）和第一驱动螺旋部件（6）旋转，伴随于此，第一以及第二从动螺旋部件（12），（23）一边旋转一边相对于前述第一、第二以及第三驱动螺旋部件（6），（17），（28）相对地进行回旋运动，因此第一、第二膨胀空间（13），（29）从中心部朝向最外周部一边扩大其容积一边膨胀，第一以及第二压缩空间（

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113250955 B (45)授权公告日 2023.04.07 (21)申请号 202011355809.8 (51)Int.Cl .