一种降低质谱探测H2和H2O背景噪声的超高真空装置.pdfVIP

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2023-06-16 发布于四川
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一种降低质谱探测H2和H2O背景噪声的超高真空装置.pdf

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本发明提供一种降低质谱探测H2和H2O背景噪声的超高真空装置，包括插板阀、前级泵组、主腔、差抽腔、质谱探测器；所述主腔包括固定室、导引系统、液氮夹层、杜瓦、冷头和钛升华泵。本发明的装置，背景物质由液氮夹层初次冷却后部分已经被吸附在腔壁上再由冷头二次冷却噪声明显降低，同时钛升华泵工作在本装置良好的低温环境协作下有效增强对H2和H2O的吸附并且溶解在钛膜中的H2不容易释放出来为处理H2背底含量高的问题提供一种解决方案，有效降低背景噪声提高质谱探测的精度，可以达到10‑12torr左右的超高真空，为探

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113237943 A (43)申请公布日 2021.08.10 (21)申请号 202110516726.0 (22)申请日 2021.05.12 (71)申请人中国科学技术大学地址

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