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本发明公开了一种非接触式柔性透明传感器及其制备方法,属于柔性传感器领域。由底层的绝缘支撑层和沉积在绝缘支撑层表面的导电感应层组成,绝缘支撑层和导电感应层的接触面为复合粗糙表面;采用四端检测由于手部移动引起的电荷在传感层表面的重新分布,实现基于手势的非接触式的传感与控制。这种双层结构具有通用性,其传感层可以选用氧化铟锡、铜等导电薄膜,支撑层可以选用玻璃、石英以及显示屏等。另一方面,我们将等离子体刻蚀工艺,在传感层表面制备了粗糙结构增加了比表面积,使传感器的输出信号获得了极大提升,从而为近场传感器提
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113220153 A
(43)申请公布日 2021.08.06
(21)申请号 202110076216.6
(22)申请日 2021.01.20
(71)申请人 西安交通大学
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