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公开了一种三维半导体存储器装置及其制造方法。该三维半导体存储器装置包括具有单元和连接区的衬底。电极结构设置在衬底上,电极结构在连接区上具有台阶结构。第一竖直沟道结构和第一伪结构分别至少部分地穿透单元区和连接区上的电极结构。第一竖直沟道结构和第一伪结构的扩展部分的底部分别位于第一水平高度处和第二水平高度处。第二水平高度高于第一水平高度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113224075 A
(43)申请公布日 2021.08.06
(21)申请号 202110080779.2 H01L 27/11521 (2017.01)
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