超薄玻璃掩膜及其制造方法.pdfVIP

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2023-06-16 发布于四川
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超薄玻璃掩膜及其制造方法.pdf

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本发明提供了超薄玻璃掩膜及其制造方法，其中，超薄玻璃掩膜包括：一超薄玻璃本体，基于预设蒸镀图案在超薄玻璃本体的至少一基板区域沿厚度方向形成贯穿超薄玻璃本体的若干贯通孔，每个贯通孔的内壁与超薄玻璃本体的表面之间形成倒角，当超薄玻璃本体作为掩膜进行蒸镀时，贯通孔供蒸镀介质通过超薄玻璃本体到达蒸镀对象。本发明能够采用超薄玻璃制造蒸镀所用的掩膜，大大降低了掩膜的整体成本，由于超薄玻璃本身相比金属掩膜具有更好的刚性，使得本发明的超薄玻璃掩膜更适用于蒸镀异形蒸镀图案，并且，由于本发明的掩膜不需要张网步骤，提

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113235043 A (43)申请公布日 2021.08.10 (21)申请号 202110649392.4 (22)申请日 2021.06.10 (71)申请人蒋承忠地址浙江省