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基于氢离子刻蚀反应辅助激光刻蚀的金刚石微加工方法.pdfVIP

基于氢离子刻蚀反应辅助激光刻蚀的金刚石微加工方法.pdf

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    一种基于氢离子刻蚀反应辅助激光刻蚀的金刚石微加工方法，包括：对金刚石试样表面进行预处理，去除表面杂质；将激光光束聚焦在预处理后的金刚石试样表面，进行激光辐照处理，将金刚石试样表层金刚石成分诱变为石墨化成分；对经过激光辐照处理的金刚石试样进行氢离子刻蚀反应，将金刚石试样表面经过激光辐照诱变产生的石墨化成分选择性去除，实现对金刚石试样的微加工。本发明通过采用激光对金刚石试件表面进行石墨化诱变，随后采用氢离子刻蚀选择性去除金刚石试件表面激光诱变的石墨化成分，避免了常规激光刻蚀过程中金刚石表面出现杂质残

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113215554 A (43)申请公布日 2021.08.06 (21)申请号 202110348181.7 (22)申请日 2021.03.31 (71)申请人 天津

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