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2023-06-16 发布于四川
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一种基板架的安装结构及其安拆方法.pdf

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本发明涉及光学成膜技术领域，尤其是一种基板架的安装结构及其安拆方法，基板架包括基板架上盘和基板架下盘，其中基板架上盘与旋转机构相连接固定，基板架下盘的顶面上设置有挂钩，基板架上盘上设置有与挂钩相吻合适配的卡槽，卡槽的一侧具有开口，挂钩可通过该开口进入卡槽内并与卡槽构成卡接，基板架下盘的底部可装载待成膜产品。本发明的优点是：利用基板架下盘的自重实现其安装固定，有效保证安装的牢固性，避免基板架旋转时发生松动；通过挂钩与卡槽之间的配合实现基板架的精确定位，保证成膜均匀性；通过将基板架分割为上、下盘的分

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113242646 B (45)授权公告日 2023.03.31 (21)申请号 202110281529.5 审查员黄苑 (22)申请日 2021.03.16

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