陶瓷基板、静电吸盘以及静电吸盘的制造方法.pdfVIP

陶瓷基板、静电吸盘以及静电吸盘的制造方法.pdf

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本公开涉及一种陶瓷基板、静电吸盘以及静电吸盘的制造方法，该陶瓷基板包括基板主体以及设置在基板主体的内部的导体层。基板主体包括：绝缘体层，其是由氧化铝构成的陶瓷；以及铝硅复合氧化物层，该复合氧化物层形成在绝缘体层和导体层之间。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113248288 A (43)申请公布日 2021.08.13 (21)申请号 202110162469.5 (22)申请日 2021.02.05 (30)优先权数据 2020-0198

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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