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本发明提供一种微纳光纤‑波导‑超导纳米线单光子探测器及制备方法；固定于V型槽的微纳光纤可以和波导实现高精度的光耦合对准，并使微纳光纤由粗变细的过渡段悬空，防止光向衬底的泄露，进而减少光传输过程的损耗；波导型超导纳米线结构可以在片上实现对光的完全吸收；弯角波导设计可使微纳光纤‑波导的光耦合区域和波导型超导纳米线结构的光探测区域完全分离开，可有效减少沿光纤传播的背景辐射导致的暗计数，降低背景暗计数对光探测的影响；本发明可实现一个集高探测效率、高计数率、低时间抖动以及低暗计数为一体的单光子探测器，有望
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113204075 B
(45)授权公告日 2022.06.24
(21)申请号 202110475950.X G02B 6/36 (2006.01)
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