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本申请公开了一种尾气排放结构和还原炉,尾气排放结构包括:连接体,连接体上设有环形孔,环形孔具有第一开口与第二开口;多个尾气支管的第一端与环形孔的第一开口连通;多个尾气支管的第二端与汇集管连通;尾气母管的一端与汇集管连通。将尾气排放结构应用于还原炉,连接体的第二开口与还原炉底部的排气孔连通,还原炉中的尾气通过排气孔进入环形孔,通过环形孔对尾气进行平衡,环形孔中的气体通过尾气支管进入汇集管,不同尾气支管中的气体流量可以在汇集管进行平衡,然后汇集管中的气体通过尾气母管排出,连接体的高换热面积和汇集管的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113213484 A
(43)申请公布日 2021.08.06
(21)申请号 202110661114.0 H01L 21/67 (2006.01)
(22)申请日 2
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