一种脱衬底纳米线的打印制造装置及方法.pdfVIP

一种脱衬底纳米线的打印制造装置及方法.pdf

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本发明属于先进制造技术领域,涉及一种脱衬底纳米线的打印制造装置及方法,基于电流体动力效应喷射出的射流在衬底上打印出两个具有一定间距的三维黏性支座,再在三维黏性支座打印上纳米尺度高粘连续射流,纳米尺度高粘连续射流与三维黏性支座充分黏合、固化,形成纳米简支梁,利用两束高功率密度激光束切断纳米简支梁,制备出脱衬底纳米线,借助承接转移台可将脱衬底纳米线转移到所需的结构中。电射流打印方法结合激光切割制造脱衬底纳米线,具有设备成本低、工艺简单、加工周期短等优势,为基于脱衬底纳米线为核心感知单元的高性能纳米器

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113232316 B (45)授权公告日 2022.06.17 (21)申请号 202110374825.X (56)对比文件

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