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2023-06-16 发布于四川
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通过多射束设备的个体射束控向的经改善扫描效率.pdf

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公开了在多射束设备中观察样品的系统和方法。多射束设备可以包括偏转器阵列，其被配置为将多个束波中的个体束波进行控向，该偏转器阵列中的每个偏转器具有对应的驱动器，其被配置为接收用于对对应的个体束波进行控向的信号。该设备还可以包括：具有电路装置的控制器，其用于获取样品的轮廓数据并且通过基于所获取的轮廓数据向对应的驱动器提供信号来控制每个偏转器；以及控向电路装置，包括：对应的驱动器，其被配置为生成驱动信号；对应的补偿器，其被配置为接收该驱动信号和来自与相邻偏转器相关联的其他相邻驱动器的一组驱动信号，并且

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113228221 A (43)申请公布日 2021.08.06 (21)申请号 201980086605.8 (74)专利代理机构北京市金杜律师事务所

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