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公开了一种光波导集成器件，所述光波导集成器件可以包括：衬底；第一隔离层，位于衬底上；光波导构件，至少部分地嵌入第一隔离层中并与衬底分隔开；过渡层，设置在第一隔离层和光波导构件上；以及光调制层，设置在过渡层上并且与光波导构件的顶表面叠置。过渡层的位于光调制层与第一隔离层之间的部分和过渡层的位于光调制层与光波导构件之间的部分可以具有不同的成分。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113219681 B
(45)授权公告日 2022.07.15
(21)申请号 202010071916.1 (51)Int.Cl.
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