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2023-06-16 发布于四川
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一种设备可以包括上透明板，以保持多个底部发射或底部检测光学器件的晶片，其中上透明板包括在上透明板的一区域中的用于保持晶片的一组孔。该设备可以包括下透明板和一结构，其支撑上透明板和下透明板，以形成由上透明板、下透明板和该结构界定的空腔，其中该结构包括与空腔流体连通的开口，其中通过该开口、经由空腔和该一组孔施加抽吸，将晶片平坦地保持在上透明板上，并且其中在晶片的多个底部发射或底部检测光学器件中的一底部发射或底部检测光学器件与测试器件之间的光路穿过上透明板、空腔和下透明板。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113223992 A (43)申请公布日 2021.08.06 (21)申请号 202110155951.6 (22)申请日 2021.02.04 (30)优先权数据

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