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本发明涉及一种氧化镓基大功率光控微波器件，包括：衬底层以及在所述衬底层的上下表面对应设置的阳极和阴极，其中，所述衬底层为掺杂+2价离子的氧化镓材料。本发明的氧化镓基大功率光控微波器件，利用光控的氧化镓光导开关实现微波输出，实现了器件光电流和暗电流的巨大开关比，功率可以提升3个数量级，达到兆瓦量级，实现高功率光控微波输出。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113224183 A
(43)申请公布日 2021.08.06
(21)申请号 202110414332.4
(22)申请日 2021.04.16
(71)申请人 西安电子科技大学
地址
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