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一种制造光学元件的方法包含：对基材斜向蒸镀，以在基材的表面上形成至少一第一无机氧化物膜对；以及对基材正向蒸镀，以在第一无机氧化物膜上形成至少一第二无机氧化物膜对，其中第一无机氧化物膜对与第二无机氧化物膜对的任一者的材料包含金属元素及硅中之至少一者。本揭露所提供的光学元件及其制造方法可以为具有更佳的光学效果及更薄的膜厚的光学元件达到节省制造成本的效果，并且使其具有更广泛的应用范围。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113215534 A
(43)申请公布日 2021.08.06
(21)申请号 202110495143.4 C23C 14/08 (2006.01)
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