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本发明涉及微电子技术领域,公开了一种去除基片表面残余物质的方法,先将基片放置于工艺处理腔的样品台上,再控制样品台带动基片以预设转速旋转,然后将化学溶液喷洒在所述基片的表面上,以使得在基片的表面上形成一层均匀的液体薄膜,化学溶液中的氢氟酸与基片表面的氮化物等残余物质进行反应,从而达到清除效果,另外,化学溶液中混合的二氧化碳可以防止在清洗过程中对基片内部的铜线圈进行腐蚀,而二氟甲烷、氮气和氧气组成的混合气体与基片的表面的残余物进行反应,增强了清洗效果,从而获得良好的去除基片表面残余物质的效果。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113223925 A
(43)申请公布日
2021.08.06
(21)申请号 20201
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