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基于光干涉的测量系统及方法.pdfVIP

基于光干涉的测量系统及方法.pdf

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    本发明提供一种基于光干涉的测量系统，包括：光源，用于发射光源光；检测平台，所述检测平台的一表面固定设置有相互间隔的待测样品和参考样品，所述检测平台用于对所述待测样品和所述参考样品进行同步位移；光引导元件，设置于所述光源光的发射路径上，用于将所述光源光分解为测量光和参考光，并将所述测量光引导至所述待测样品，将所述参考光引导至所述参考样品，经所述待测样品反射的测量光和经所述参考样品反射的参考光合束作为干涉光；以及检测器，用于接收来自所述光引导元件引导的所述干涉光，并根据所述干涉光获取所述待测样品的光

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113251943 A (43)申请公布日 2021.08.13 (21)申请号 20201

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