具有热量输出不均匀的灯丝灯的半导体加工室.pdfVIP

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2023-06-16 发布于四川
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具有热量输出不均匀的灯丝灯的半导体加工室.pdf

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提供了线性加热灯的布置，该布置允许在半导体加工期间局部控制衬底中的温度不均匀性。反应器包括定位在线性加热灯的顶部阵列和底部阵列之间的衬底保持件。灯组中的至少一个灯包括灯丝，该灯丝具有沿灯的长度变化的密度和功率输出。特别地，灯组中的至少一个灯包括灯丝，该灯丝在灯的中央部分内具有相对于灯的周边部分较高的灯丝缠绕密度。在一些实施方案中，至少一个灯是延伸跨过由灯加热的衬底的中央部分的中央灯。此外，灯组中的至少一个灯在灯的中央部分内具有比灯的周边部分处更高的功率输出。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113223984 A (43)申请公布日 2021.08.06 (21)申请号 202110078438.1 (22)申请日 2021.01.21 (30)优先权数据 62/963,84

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