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本发明提供了一种晶圆半导体产品及其制作方法,所述晶圆半导体产品包括光学对准场以及多个管芯曝光场,所述光学对准场包括至少一个光学对准目标标记;所述多个管芯曝光场,呈点阵式的排列在晶圆半导体产品上除所述光学对准场以外的区域;其中,每一所述管芯曝光场包括多个管芯以及第二精细对准目标标记;所述光学对准目标标记的对位精度低于所述第二精细对准目标标记的对位精度,所述光学对准场的个数仅为一个。通过减少光学对准场的数量,减少了光学对准场的数量,在相同晶圆面积下可布设更多的管芯曝光场,提升了有效管芯的布局数量,降
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113219797 A
(43)申请公布日 2021.08.06
(21)申请号 202110317624.6
(22)申请日 2021.03.25
(71)申请人 北海惠科半导体科技有限公司
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