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一种均热板的盖板制作方法及均热板的制作方法.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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一种均热板的盖板制作方法及均热板的制作方法.pdf

    本发明公开了一种均热板的盖板制作方法及均热板的制作方法，该方法包括以下步骤：在所述盖板的第一表面上覆盖光阻膜；对所述光阻膜进行曝光和显影，使光阻膜上形成第一镂空图案和第二镂空图案，第一镂空图案将气槽区对应的光阻膜分割为多个第一光阻块，第二镂空图案将液槽区对应的光阻膜分割为多个第二光阻块，且第一光阻块的覆盖面积小于第二光阻块的覆盖面积；对盖板进行蚀刻，使第一表面形成第一凸起和第二凸起，进一步蚀刻，使第一凸起通过侧蚀作用去除，以使气槽区整体凹陷形成气槽，并使第二凸起保留，以使气槽与液槽的蚀刻速度接近

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113281967 A (43)申请公布日 2021.08.20 (21)申请号 202110493982.2 (22)申请日 2021.05.07 (71)申请人 江西展耀微电子有限公司

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