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一种槽盖装置和槽式清洗设备.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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一种槽盖装置和槽式清洗设备.pdf

    本发明公开了一种槽盖装置和槽式清洗设备，其中所述槽盖装置包括：槽盖板、固定架和可伸缩机构；固定架设置于清洗槽的槽壁外部，可伸缩机构设于固定架上；槽盖板设置于清洗槽上方，槽盖板的一端固定设有连杆组件，连杆组件分别与固定架和可伸缩机构的伸缩端铰接，可伸缩机构用于驱动连杆组件进行转动，以使槽盖板进行翻转打开或关闭清洗槽的槽口。本发明能够提高槽盖装置的装配灵活性，提高槽盖装置与清洗槽的密封性。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113275307 A (43)申请公布日 2021.08.20 (21)申请号 202110436698.1 (22)申请日 2021.04.22 (71)申请人 北京北方华创微电子装备有限公司

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