用于估计衬底中的应力的方法、衬底和系统.pdfVIP

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2023-06-17 发布于四川
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用于估计衬底中的应力的方法、衬底和系统.pdf

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本发明提供了一种用于估计生产衬底中由于衬底支撑件引起的应力的测试衬底(W)，所述测试衬底具有被分为预定义部分的支撑表面(SS)，其中所述预定义部分包括：至少一个第一部分(1)，具有在所述至少一个第一部分上基本均匀的第一摩擦系数；以及至少一个第二部分(2)，具有在所述至少一个第二部分上基本均匀的第二摩擦系数，其中所述第二摩擦系数不同于所述第一摩擦系数。本发明还提供了一种用于估计衬底中由于衬底支撑件引起的应力的方法以及用于进行这种估计的系统。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113287065 A (43)申请公布日 2021.08.20 (21)申请号 201980088298.7 (74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任