一种大尺寸单晶预调温系统及其装置.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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一种大尺寸单晶预调温系统及其装置.pdf

本发明公开了一种大尺寸单晶预调温系统及其装置,涉及新型单晶加工技术领域。本发明包括中心搭载支架和自热单晶定装结构,中心搭载支架的底端固定连接有自热单晶定装结构,自热单晶定装结构用于对引晶的固定和调温加工,还包括辅助自动化卡紧结构。本发明通过检测控制系统搭载模块的设计,搭载有对应的预调温系统,从而自动化的完成对单晶加工过程中自动化的预控温度检测和预调,大大节约了调温时间,提升产量,且通过自热单晶定装结构和辅助自动化卡紧结构的配合设计,使得装置便于完成对单晶的自动化夹持和夹持同步加热,避免手动夹持引

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113279052 A (43)申请公布日 2021.08.20 (21)申请号 202110450432.2 (22)申请日 2021.04.25 (71)申请人 弘元新材料(包头)有限公司

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