晶圆载盘的卸载装置及其卸载方法.pdfVIP

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2023-06-17 发布于四川
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晶圆载盘的卸载装置及其卸载方法.pdf

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一种晶圆载盘的卸载装置及其卸载方法，在第一、二机械臂活动范围内分别建置一载盘、一主校正机构、一晶圆校正机构及一置料机构，在第一机械臂上设有影像攫取组件及晶圆定位件装卸机构，在第二机械臂上设有晶圆取放机构，利用主校正机构分别校正影像攫取组件、晶圆定位件装卸机构及晶圆取放机构至正确的位置，由第一机械臂驱动该影像攫取组件移至载盘其中一晶圆盘上方，并调整位置使其正确对应于该晶圆盘，再由第一机械臂驱动该晶圆定位件装卸机构移至该晶圆盘上，将晶圆盘周缘的晶圆定位件压环取下，另由第二机械臂驱动该晶圆取放机构将该

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113284831 A (43)申请公布日 2021.08.20 (21)申请号 20201