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- 2023-06-17 发布于四川
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本发明公开了一种热电薄膜的制备方法，其包括步骤：在第一衬底上制备硫族单质薄膜；在第二衬底上制备金属薄膜，所述金属为铋、锡和锑中的一种或多种；将所述硫族单质薄膜与所述金属薄膜叠加，得到叠加膜层；在真空或惰性气氛下对所述叠加膜层进行加热处理，制得所述热电薄膜。本发明提供的热电薄膜制备方法简单方便，其可与多种方法结合制备薄膜，且无需制备复合靶材或者复合粉末，极大简化了热电薄膜制备流程，制备成本低，更容易实现产业化推广。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113285011 A
(43)申请公布日 2021.08.20
(21)申请号 202110384966.X
(22)申请日 2021.04.09
(71)申请人 深圳大学
地址 51
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