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- 2023-06-17 发布于四川
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本发明涉及一种硅片用舟多向传输机。本发明包括多个输送模块，所述输送模块包括机架，所述机架包括多层框架结构，所述框架结构中设有横纵向传输转换机构、用于将横纵向传输转换机构上升或下降的顶升机构；所述横纵向传输转换机构包括横向传输单元、纵向传输单元以及用于驱动横向传输单元上升或下降的顶升组件；所述多个输送模块在横向通过横向传输单元衔接。本发明通过设置多个输送模块，在输送模块中设置横纵向传输转换机构并对应设置顶升机构，且多层中设置传输出入口，可对应地对接工艺机不同层进出舟口，模块化的设计可对接不同数量与
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113284833 A
(43)申请公布日 2021.08.20
(21)申请号 202110372788.9
(22)申请日 2021.04.07
(71)申请人 罗博特科智能科技股份有限公司
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