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一种退火炉降温速率校准的方法.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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一种退火炉降温速率校准的方法.pdf

    本申请公开了一种退火炉降温速率校准的方法，所述方法包括：在所述第一退火炉中对多个第一晶圆进行加热；将多个所述第一晶圆在所述第一退火炉中在不同的降温时间内分别降温至预设温度；测量多个第一晶圆的表面参数；建立表面参数和所述降温时间的第一对应关系；在第二退火炉中对多个第二晶圆进行加热和降温，以建立表面参数和降温时间的第二对应关系，其中第二晶圆的加热和降温的条件与所述第一晶圆的加热和降温条件相同；以所述第一对应关系为参照，调节所述第二退火炉中的降温速率，以将所述第一对应关系和所述第二对应关系中相同降温时

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113281304 A (43)申请公布日 2021.08.20 (21)申请号 202110356915.6 G01N 25/20 (2006.01)

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