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一种自动对焦系统,包括对焦光源、物镜、离焦透镜、第一影像传感器以及控制器。对焦光源用以发出对焦光。物镜设置在对焦光的传递路径上,其中对焦光穿过物镜后照射至样品。离焦透镜设置在对焦光的传递路径上,使对焦光经过物镜后的最小光点处偏离物镜的焦点。第一影像传感器用以接收对焦光从样品反射后的对焦反射光。控制器电性连接至第一影像传感器。控制器根据对焦反射光在第一影像传感器的成像面所形成的光斑的重心位置、位置变化或能量变化,驱动物镜或样品移动,使物镜的焦点落在样品上。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116263533 A
(43)申请公布日 2023.06.16
(21)申请号 202111560158.0
(22)申请日 2021.12.20
(30)优先权数据
110146579 2021.
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