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显示背板、制作方法以及显示装置.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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显示背板、制作方法以及显示装置.pdf

    本申请实施例提供一种显示背板、制作方法以及显示装置，显示背板包括衬底、薄膜晶体管和层间介质层，在栅极远离衬底的一侧，层间介质层包括层叠设置的第一介质层和第二介质层，第二介质层相对于第一介质层远离衬底；第二介质层的致密性低于第一介质层；层间介质层上设置有过孔，过孔在第二介质层的部分为湿刻结构，在第一介质层的部分为干刻结构。本实施例中，将层间介质层制作成不同致密性的叠层结构，低致密性的介质层位于外侧，采用湿刻制作过孔，高致密性的介质层位于内侧，在外侧湿刻完成后通过干刻继续制作过孔，从而得到具有湿刻结

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113284910 A (43)申请公布日 2021.08.20 (21)申请号 202110489331.6 (22)申请日 2021.04.29 (71)申请人 合肥

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