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提供了一种基板处理设备和一种基板处理方法，所述方法包括：在使处理液通过联接到储罐的壳体的循环管线而在所述壳体中循环时，用安装在所述循环管线中的加热器单元加热所述处理液，以调整所述处理液的温度；通过由所述加热器单元将所述处理液加热到比所述处理液中含有的水的温度高的温度来蒸发所述壳体中的所述处理液中的水，以调整所述处理液中含有的化学液的浓度；以及将温度和浓度受控制的所述处理液供应到基板以处理所述基板，其中通过将气体供应到流过所述循环管线的所述处理液中来加速从所述壳体中储存的所述处理液中蒸发水。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116264178 A
(43)申请公布日 2023.06.16
(21)申请号 202211599436.8
(22)申请日 2022.12.12
(30)优先权数据
10-2021-0178483
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