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本发明涉及零件测量，更具体的说是一种五自由度精密测量装置及其控制方法。所述控制方法使用控制计算机和网线LAN；利用光栅尺读数头作为位置反馈元件，UMAC控制器将各个光栅尺读数头测得各轴的位移数据与LVDT传感器位移数据相叠加，当LVDT传感器的测头与待测零件的待测表面接触时，LVDT传感器发生位移变化后，UMAC控制器获取和记录LVDT传感器的位移数据并生成位移信号，所述移信号以±10V模拟电压的形式并通过信号放大器连接到模拟电压数据采集模块上，所述的控制计算机通过网线LAN与UMAC控制器双向
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113251907 A
(43)申请公布日 2021.08.13
(21)申请号 202110529228.X
(22)申请日 2021.05.14
(71)申请人 哈尔
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