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感光化射线性或感放射线性树脂组合物、感光化射线性或感放射线性膜、图案形成方法及电子器件的制造方法.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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感光化射线性或感放射线性树脂组合物、感光化射线性或感放射线性膜、图案形成方法及电子器件的制造方法.pdf

    本发明提供一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物、使用了上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物的感光化射线性或感放射线性膜、图案形成方法及电子器件的制造方法。所述感光化射线性或感放射线性树脂组合物中，含有(A)酸分解性树脂、(B)由通式(b1)表示的化合物、及(C)由通式(c1)表示的化合物，化合物(C)的含量相对于化合物(B)的含量的比例为0.01质量％以上且10质量％以下。L表示单键或2价的连接基团。A表示通过酸的作用分解的基团。B表示通过酸的作用分解的基团、羟基或羧基。其中，至少1个B表示

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114450631 A (43)申请公布日 2022.05.06 (21)申请号 202080067976.4 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任

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