利用带电粒子的样品处理装置.pdfVIP

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2023-06-17 发布于四川
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利用带电粒子的样品处理装置.pdf

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本发明涉及一种利用带电粒子的样品处理装置，更加详细地，涉及一种为了观察或者加工样品而产生带电粒子，在向样品进行照射的路径上形成孔隙从而可提高带电粒子向样品传递的效率，并且在孔隙周围设置两个以上的散射防止孔从而提高样品周围的局部的真空度，为了更有效地保持局部真空而形成利用惰性气体的空气幕的利用带电粒子的样品处理装置。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116264145 A (43)申请公布日 2023.06.16 (21)申请号 202111630663.8 (22)申请日 2021.12.28 (30)优先权数据 10-2021-0177777