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- 2023-06-17 发布于四川
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本发明是关于一种渐变折射率减反薄膜及其制备方法和应用。该渐变折射率减反薄膜包括至少三组减反膜层；每组减反膜层包括一层折射率渐变层和一层折射率限制层；从渐变折射率减反薄膜的一面到另一面，减反膜层的折射率呈阶梯分布或渐变分布，折射率限制层和折射率渐变层交替层叠设置；在每组减反膜层中，折射率限制层的折射率小于折射率渐变层的折射率，折射率限制层的材质选自Al2O3、HfO2、BaF2、MgF2和SiO2中的至少一种；折射率渐变层的材质选自折射率可调的光学材料。本发明方法在制备渐变折射率减反膜的过程中，通
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113278950 B
(45)授权公告日 2022.02.15
(21)申请号 202110486153.1 (51)Int.Cl.
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