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- 2023-06-17 发布于四川
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本发明涉及真空设备技术领域，具体涉及一种磁悬浮轴承结构，包括主轴；检测机构，具有两个检测元件，两个所述检测元件分别设于所述主轴的两端，其中一个所述检测元件用于检测所述主轴顶部轴心径向位置变化值，另一个所述检测元件用于检测所述主轴底部轴心径向位置变化值和所述主轴轴向位置变化值。因此可以通过在主轴上设置两个检测元件即可以实现检测主轴的五个自由度。相比于现有技术中，在主轴上设置三个检测元件，即在主轴的顶部、中部，以及底部；该磁悬浮轴承结构将检测元件设置在主轴的两端，减少了中部位移传感器的设置，从而减小
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113266583 A
(43)申请公布日 2021.08.17
(21)申请号 202110635199.5
(22)申请日 2021.06.08
(71)申请人 苏州中科科仪技术发展有限公司
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