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一种自动化镀膜系统.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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一种自动化镀膜系统.pdf

    本发明提供一种自动化镀膜系统，包括：真空室装置、转运腔室装置、悬挂操作室，真空室装置内设置有旋转架和旋转架驱动装置，旋转架上设置有挂板；转运腔室装置内设置有机械手装置和第一旋转装置；悬挂操作室内设置有换轨装置和第二旋转装置；换轨装置用于连接转运腔室和悬挂操作室；转运腔室在与真空室进行交换操作时处于真空状态，在与悬挂操作室进行交换操作时，处于大气状态；其中，真空室的镀膜时间、转运腔室的抽真空时间、转运腔室和真空室的交换时间、转运腔室的破真空时间以及转运腔室与悬挂操作室的交换时间的总和等于悬挂操作室

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113278941 B (45)授权公告日 2022.04.29 (21)申请号 202110410226.9 C23C 14/56 (2006.01)

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