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发明公开了一种基于静电电压驱动的MEMS振镜的激光雷达的校准系统以及消除由于外界震动导致的图像失真方法,包括:采用CCD获得MEMS振镜的最佳共振频率和最大驱动幅度。获取校准时没有外界震动时的激光光斑在CCD上的光斑成像坐标和激光探测角度的关系,以消除由于外界震动导致的图像失真。发明的有益效果:本发明使MEMS激光雷达的校准非常简便,消除了由于应力释放、电压偏移、器件老化等因素带来的性能劣化。同时依靠本发明可以消除因外界震动引起的图像扭曲或不可识别的问题。采用本方案后,激光雷达图像的形成并不要求
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113253245 A
(43)申请公布日 2021.08.13
(21)申请号 202110513021.3
(22)申请日 2021.05.11
(71)申请人 苏州深水渔半导体有限公司
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